国产刻蚀设备商冲科创板已打入 5nm 逻辑芯片量产线

时间: 2024-04-06 05:29:29 |   作者: 行业应用

  根据美国市场分析公司 Gartner 的数据,2020 年屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备的市场占有率分别位居全球第一、第二。

  屹唐股份的主要经营主体为美国半导体设备厂商 Mattson Technology Inc.(MTI)。MTI 原为美国纳斯达克证券交易所上市公司,2016 年屹唐股份完成其私有化收购,MTI 从美股退市。

  报告期内,屹唐股份营收呈增长趋势,2018 年-2020 年营收分别为 15.18 亿元、15.73 亿元和 23.13 亿元。

  屹唐股份的直接控制股权的人为北京屹唐盛龙半导体产业投资中心(有限合伙),间接控制股权的人为亦庄产投和亦庄国投,均为国资背景。屹唐股份的实际控制人则为财政审计局。

  根据招股书,屹唐股份 2018 年-2020 年复合增长率为 23.41%,2020 年度营业收入较 2019 年同比增长 46.96%。该公司 2018 年、2019 年、2020 年营收分别为 15.18 亿元、15.73 亿元和 23.13 亿元。

  屹唐股份的营收按照产品构成可分为四种类型,为专用设备销售、备品备件、服务和特许权使用费。

  其中,专用设备销售包括干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备 3 类,是屹唐股份的主要收入来源。2020 年专用设备销售金额达 16.93 亿元,占总营收比例为 73.23%。截至 2020 年末,屹唐股份专用设备累计装机数量超越 3700 台。

  就地区来说,境外企业采购金额占屹唐股份比例比较高,但其中国大陆地区出售的收益逐年增长。2020 年中国大陆已成为屹唐股份收入最多的地区。

  2020 年,屹唐股份在中国大陆地区、韩国、中国台湾地区、日本、欧洲、美国、新加坡等国家和地区营收占比分别为 42.12%、23.66%、15.50%、6.00%、5.23%、4.33% 和 3.04%,其他几个国家和地区总计收入占比为 0.12%。

  值得一提的是,屹唐股份并未给出其前五大客户具体名称,只是以客户 A、B、C、D、E、F、G、H 替代。

  屹唐股份招股书中提到,其间接控制股权的人亦庄国投持有中芯北方集成电路制造(北京)有限公司 5.75% 股份,屹唐股份董事也在中芯北方担任监事。中芯北方则是屹唐股份报告期内的前五大客户中芯国际的子公司。

  根据招股书,屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备可用于 90nm 到 5nm 逻辑芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 层到 128 层 3D 闪存芯片;其干法刻蚀设备主要可用于 65nm 到 5nm 逻辑芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 层到 128 层 3D 闪存芯片制造。

  在快速热处理设备市场中,美国半导体设备巨头应用材料占据了绝对领头羊。屹唐股份则以 11.50% 的市场占有率位居第二。

  当前,屹唐股份的客户已覆盖台积电、三星电子、中芯国际、华虹集团、长江存储等半导体制造厂商。

  而在干法刻蚀设备市场中,美国应用材料、美国泛林集团和日本东京电子拥有超过 90% 以上市场占有率,国产厂商市场占有率较少。事实上,屹唐股份、中微公司和北方华创等是国内少数可以量产刻蚀设备的厂商。

  目前,屹唐股份的刻蚀设备已应用于三星电子、长江存储等存储芯片制造企业。

  报告期内,2018 年-2020 年屹唐股份研发投入占营收占比分别是 14.20%、17.75% 和 16.75%。在这样的研发投入下,屹唐股份共拥有专利 309 项。公司研发人员共 124 人,占员工总数的 20.46%。

  屹唐股份核心技术人员 5 人,为屹唐股份董事、总裁兼首席执行官 Hao Allen Lu(陆郝安)、副总裁兼首席产品官 Schubert S. Chu、副总裁兼首席技术官 Michael Xiaoxuan Yang(杨晓晅)、MTI 等离子体产品事业部成员龙茂林和 MTI 等离子体产品事业部成员 Hua Chung(仲华),这五人都曾在应用材料任职。

  具体来说,Hao Allen Lu(陆郝安)为美国弗吉尼亚大学固态物理学博士,1994 年 2 月至 1997 年 7 月,任应用材料高级工艺工程师及项目主管;1997 年 7 月至 2009 年 8 月,Hao Allen Lu 历任英特尔加州技术制造部主任工程师、技术制造部资深主任工程师、掩膜刻蚀部门负责人、中国区公共事务部总监、技术制造工程部中国芯片厂项目主管等职务;2009 年 8 月至 2016 年 5 月,他担任了 SEMI 全球副总裁和中国区总裁。

  当前,全球半导体设备市场主要由应用材料、泛林集团、东京电子等美、日厂商所主导。但是在全球缺芯当下,台积电、三星电子、格芯、联电等诸多厂商开始建厂扩容,这也带来了半导体设备市场的机遇。