‌等离子清洗机经过‌电离气体产生等离子体，这些等离子体中含有高速运动的电子、离子、‌自由基等活性粒子。这些活性粒子在真空腔体中经过‌射频电源产生高能量的无序等离子体，然后经过等离子体炮击被清洗产品的外表，以到达清洗和活化外表的意图。

  ‌激活键能，交联效果‌：等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因而等离子体效果到固体外表后，可以将固体外表的原有的化学键产生开裂，等离子体中的自由基与这些键构成网状的交联结构，大大地激活了外表活性。

  ‌对资料外表的刻蚀效果‌：等离子清洗机中的很多离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子效果到固体样品外表，不光清除了外表原有的污染物和杂质，并且会产生刻蚀效果，将样品外表变粗糙，构成许多微细坑洼，增大了样品的比外表，进步固体外表的潮湿功能。

  ‌构成新的官能团‌：假如放电气体中引进反响性气体，那么在活化的资料外表会产生杂乱的化学反响，引进新的官能团，如‌烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显进步资料外表活性。

  等离子清洗机大范围的应用于‌玻璃、‌金属、‌线缆、‌橡胶、‌塑料等资料的外表处理，可以去除静电、活化外表、进步外表附着力等。其优势包含：