产品介绍

  影响ICP刻蚀结果的因素有很多，其中直接工艺因素有刻蚀气体、气体流量、工作气压、射频功率、偏压、电极位置和温度等。而刻蚀腔室的内壁情况对于刻蚀的结果和重复性有很重要的影响。在ICP刻蚀中，影响结果以及过程的因素和条件复杂多变，并且相互制约牵连，因此，在不同的刻蚀系统和刻蚀条件下将会有相同的作用机理。在ICP刻蚀技术中，通过电感耦合的方式产生高密度等离子体，为获得高刻蚀速率奠定了基础。根据掩模材料与被刻蚀材料刻蚀机理的不同，选用合适的刻蚀混合气体，并合理调节物理轰击作用的强弱，从而能够获得高选择性。合理规划利用离子的定向轰击对于化学反应的增强作用和侧壁钝化层抑制等离子体刻蚀的各向同性，能够获得高各向异性。合理调节轰击离子的能量，保持较高的刻蚀速率以减少被刻蚀材料暴露在等离子体中的时间，可以使得刻蚀对材料造成的损伤减到最小。均匀分布的、稳定的高密度等离子体，保证了大面积刻蚀下的均匀性。为满足不同器件的制作对于刻蚀的不一样的要求，可以合理调节刻蚀参数，根据具体需要在各向异性、选择性、表面损伤和刻蚀速率等方面做到综合权衡，得到最佳的刻蚀效果。

  ICP刻蚀技术作为一种商业化的光伏技术，要求刻蚀效率和刻蚀稳定性高，刻蚀效果的重复性好。要达到这些要求，刻蚀腔室内壁的情况就显得十分重要。在刻蚀的过程中，腔室的侧壁上难免会形成聚合物或反应生成物的薄层。侧壁上的沉积物会对活性离子和电子在侧壁上的碰撞、吸附和复合产生一定的影响，并且侧壁沉积物一般会形成绝缘薄膜，进而影响电磁场、影响等离子体性质。当这些沉积物达到一定厚度时，甚至有可能形成颗粒污染，损坏刻蚀表面。在刻蚀过程中，腔室侧壁上沉积物的离化再聚合会给刻蚀断面轮廓的控制带来不利影响。清除腔室侧壁上的沉积物对于刻蚀稳定性和重复性的影响十分重要。利用物理方法来清理腔室，效率低，并对腔壁有损伤，利用合适的气体来进行等离子体清洁腔室是比较好的方法。刻蚀硅或者二氧化硅时，腔室内的沉积物主要可以分成两大类：一类是以碳氟聚合物气体引入的碳氟聚合物为主的沉积物，这样的一种情况下用O2作为去除沉积物的气体能取得很好的效果;另一类是以氯基、溴基以及其他刻蚀气体与被刻蚀材料的反应生成物为主的沉积物。用SF6或SF6/O2作为去除沉积物的刻蚀气体能取得较好的效果，但要注意的是必须对沉积物进行彻底的清除，如有残留，那么结合在沉积物中的F会在以后的刻蚀过程中释放开来，对于刻蚀的结果会产生不利的影响。在对腔室侧壁进行清洁后，采用一些方法让侧壁达到较为稳定的状态，可以显著提升刻蚀效果的重复性。在一些情况下侧壁留下残留物的去除则很难，在大多数情况下要等离子体化学去除结合物理去除才能够达到满意的效果。

  (1)刻蚀出线)刻蚀出线μm陡直的Si窗口图形;(3)Si的快速(非陡直)刻蚀可达3μm/min以上;

  盛雄激光90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备重磅发布随市场需求的发展，2020年国家关于“碳达峰”“碳中和”一系列要求提出后，太阳能光伏迎来了历史机遇期，光伏PERC电池大扩产，激光设备需求爆发式的增长。国家十四五规划中提出全力发展光伏、锂电等清洁能源，激光加工技术被大范围的应用于已有PERC电池

  制绒的目的是在硅片表明产生绒面面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平能增加二次反射，改变光程及入射方式。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）扩散是为电池片制造心脏，是为电池片制造P-N结，POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源，液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性高、制得PN结

  1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液，要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重，平整度抛光度才能满足规定的要求，药耗量增加，成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废污水处理造成极大地负担，光伏电池制造公司环保压力日益增大，使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱（KOH/NaOH）在

  Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自中国的一家主要生产商。可见，成功的制造工艺能激励生产商增加订单。据悉，Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况已经证明其为目前市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的商战中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术将继续其成功之道。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。采访中，我们不难发现到：Schmid的湿化

  成功的制造工艺激励生产商增加订单Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况证明其为市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的战争中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术继续其成功之道。Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。Schmid的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。以

  1月17日，河南监管办通报河南省2023年12月份电力供需情况，其中太阳能发电量21.07亿千瓦时，同比增加27.21%；1-12月，太阳能发电量331.27亿千瓦时，同比增加60.92%。原文见下：河南省2023年12月份电力供需情况通报2023年12月，全省全社会用电量386.27亿千瓦时，同比增加11.08%；累计用电量4089.53亿千

  12月份，规模以上工业（以下简称规上工业）主要能源产品生产继续保持稳定增长。与11月份相比，原煤、天然气、电力增速有所放缓，原油增速加快。一、原煤、原油和天然气生产及相关情况原煤生产稳定增长，进口快速地增长。12月份，规上工业原煤产量4.1亿吨，同比增长1.9%，增速比11月份放缓2.7个百分点，日

  1月15日，四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心（二期）节能报告的审查意见发布，原文如下：四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心（二期）节能报告的审查意见（川发改环资函〔2024〕13号）通威太阳能（成都）有限公司：你单位《关于报送通威太阳能光伏产业

  1月12日，中节能太阳能发布业绩预告称，2023年公司预盈利15亿元–16.5亿元，同比增长8.18%–19.00%，扣除非经常性损益后的净利润预盈利14.1亿元–15.6亿元，同比增长8.97%–20.56%。对于业绩增长原因，中节能太阳能表示，一是公司电站装机规模增加，公司加强运维管理，发电量对比上年同期增加；二是公

  Romania-insider1月3日消息，全球最大太阳能电池板制造商之一中国隆基集团与以色列NofarEnergy罗马尼亚公司签署了一份容量576兆瓦的技术销售协议。该协议是罗迄今为止签署的同类协议中最大一笔交易。项目装机容量255兆瓦，位于丹博维察县CorbiiMari,是罗最大光伏园区，占地290公顷。该项目将配备隆基设

  吉林通化市碳达峰实施方案：全方面推进太阳能、风能和水力发电大规模开发和高质量利用

  近日，通化市人民政府印发《通化市碳达峰实施方案》，提出，“十四五”期间，产业体系和能源结构调整优化取得明显进展，能源资源利用效率显著提升，新能源产业得到一定效果开发，新型电力系统加快构建，绿色生产生活方式被公众普遍接受。到2025年，非化石能源消费比重达到16%以上，单位地区生产总值能源消

  1月10日，中广核新能源发布营运业绩最新情况公告称，2023年12月公司及其附属公司按合并报表口径完成发电量1695.5吉瓦时，较2022年同比减少5.6%。其中，中国风电项目增加9.7%，中国太阳能项目增加12.8%，中国热电联产及燃气项目增加30.4%，中国水电项目减少20.4%及韩国项目减少27.6%。截至2023年12月31

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  1月9日，江西省发展改革委关于同意晶科能源股份有限公司投资越南新建年产4GW电池片及3GW太阳能组件生产线项目备案的通知发布，对晶科能源股份有限公司投资越南新建年产4GW电池片及3GW太阳能组件生产线项目（详细情况见背页）予以备案，通知书有效期2年。详情见下：江西省发展改革委关于同意晶科能源股

  【国企招聘】粤电新疆、上海电气、浙商中拓、徐工新能源等光储国企招聘合集 北极星太阳能光伏网

  近日，粤电新疆、上海电气、浙商中拓、徐工新能源等光储国企发布招聘公告，北极星整理如下：广东省能源集团新疆有限公司成立于2023年1月3日，是广东省能源集团有限公司在新疆设立的二级平台公司，位于新疆乌鲁木齐新市区，注册资本金3亿元，负责全集团在新疆及西北区域的业务管理。新疆公司下辖图木舒

  贵州望谟县麻山打龙沟农业光伏110kV送出线日，黔西南州能源局发布关于望谟县麻山打龙沟农业光伏110kV送出线路工程建设项目核准的批复，该工程总投资255万元。原文如下：望谟县工科局：你单位报来的《关于请求核准望谟县麻山打龙沟农业光伏110kV送出线路工程建设项目的请示》（望工科呈〔2024〕2号）及相关材料收悉。经研究，现就该项目核准事项批

  硅料本周硅料价格趋势持稳。单晶复投料主流成交价格为57元/KG，单晶致密料的主流成交价格为55元/KG；N型料报价为64元/KG。从交易情况看，本周仍有部分硅料企业成交，但整体成交量偏低。年关将至，下游拉晶端出于备货需求，增加询价频率，部分企业正着手洽谈2月份订单。N、P型用料价格趋势或将延续分化

  2023年的中国光伏企业，尽管股价和市值持续缩水，但市场依然交出了亮眼的成绩单。从装机量来看，2023年前11个月光伏新增装机163.88GW，同比增长149.4%。市场预测，2023年度的新增装机将达到200GW左右，相比2022年国家能源局2023年度目标，几乎超出目标67%。2024年伊始，光伏板块在长期资金市场上，迎来局部

  当地时间1月16日，在2024年世界经济论坛年会（以下简称“冬季达沃斯”）上，隆基绿能科技股份有限公司（以下简称“隆基绿能”）与深圳市诚信诺科技有限公司（以下简称“诚信诺”）联合签署合作协议。未来，双方将携手通过光伏科技为非洲地区无电人群带来光明，为实现全球能源公平贡献力量。2024冬季达

  配储6MW/24MWh！中广核林芝储能牧光互补光伏发电项目PC总承包重新招标

  北极星储能网获悉，1月17日中广核集团发布中广核林芝市工布江达县加兴乡30MW+6MW24MWh储能牧光互补光伏发电项目PC总承包重新招标公告。公告显示，本工程储能容量按本工程装机容量20%，时间4h配置。本工程实际容量为30MW，配置1套6MW/24MWh的储能系统。储能系统采用1500V储能系统方案，拟分为3个2MW/8MW

  1月17日，本周光伏供应链价格发布。价格说明InfoLink公示价格时间区间主要为前周周四至本周周三正在执行和新签订的合约价格范围。现货价格主要参考超过100家厂商之资讯。主要取市场上最常成交的“众数”资料作为公示价格（并非加权平均值）、依据市场真实的情况酌情调整。多晶硅美金价格，主要反应多晶硅

  10MW/10MWh！华润肇庆怀集润洲光伏电站项目配套储能系统EPC总承包招标

  北极星储能网获悉，2024年1月17日，华润集团发布华润肇庆怀集润洲100MW复合光伏电站项目配套储能系统EPC总承包招标公告。公告显示，华润肇庆怀集润洲100MW复合光伏电站项目配套10MW／10MWh（35kV交流侧可放电量）储能系统EPC总承包。公告如下：华润肇庆怀集润洲100MW复合光伏电站项目配套储能系统EPC总