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  金融界2025年2月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司获得一项名为“一种清洁晶圆、等离子体处理设备和处理办法”的专利，授权公告号 CN 115172128 B，请求日期为2021年4月。

  天眼查资料显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱62236.3735万人民币，实缴本钱61927.9423万人民币。经过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外出资了27家企业，参加招投标项目65次，知识产权方面有商标信息71条，专利信息1447条，此外企业还具有行政许可71个。

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