国内首家铂世光成功研制出产线上专用高端MPCVD设备

时间: 2025-04-30 13:00:45 |   作者: 大气常压等离子清洗机

产品介绍

  2020年12月下旬,坐落于青浦区华科路的上海铂世光半导体科技有限公司完成了高端配备范畴严重技能打破,公司自主研制出产的出产线上专用MPCVD(微波等离子化学气相堆积技能)设备正式下线日,园区党委委员、副总经理沈豪,及该批设备第一批采购商上海征世科技有限公司董事长朱长征先生等莅临铂世光观赏了出产产线。

  MPCVD微波等离子化学气相堆积技能,是经过微波激起反响气体成等离子体状况,进步化学反响速率,下降反响温度,可以在很大的真空范围内构成安稳的球形等离子体,最大极限地减少了因气流、气压、气体成分、电压等要素动摇引起的等离子体状况的改变,然后确保单晶资料成长的持续性,为组成高质量的大尺度单晶金刚石供给有力确保。合适制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形状好的高质量硬质薄膜和晶体。MPCVD技能是现在国内外制备单晶金刚石运用最广泛的办法。因其可以制备大面积、高质量的金刚石,并且安全系数高、制备进程无污染,MPCVD技能被认为是未来制备人工金刚石最理想的办法。

  MPCVD技能现在在国外已得到了很好的运用,市场上的干流公司包含Element 6,IIa Technologies、Diamond Foundry等,都在运用MPCVD法工业化出产单晶金刚石。但是,因为工业化出产单晶金刚石所需求的MPCVD设备对设备功能要求高,开发难度大,尤其是出产线批量出产单晶金刚石所用的多台套MPCVD设备之间的操控和安稳才能要求极高,导致国内进入这一范畴的厂家并不多,再加上其研制技能本钱和设备制作的出资较大,现在国内市场还处于被欧美日厂商独占的状况。

  阅历了绵长的科研进程,铂世光总算赶在2020年底完成了国内MPCVD设备在这一范畴零的打破。这是铂世光公司的巨大成功,也是国内MPCVD技能迈向新高度的一大步。这一打破不仅是青浦区域近年来科学技能实力不断攀升的真实写照,更是为青浦带来了一大批新的就业机会,为区域的持续发展带来了连绵不断的生机。

  作为新世纪的超级资料,金刚石运用广泛,不仅在切削加工范畴具有“工业牙齿”的美誉,航空航天、国防军工、5G半导体、医疗等很多范畴均不乏它的身影。铂世光的打破为国内金刚石的运用研究打下了坚实基础,也在“科技强国”的道路上留下了浓墨重彩、分外重要的一笔!

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