产品介绍

  等离子清洗机是一种干法物理化学整理洗刷设备。它是运用低真空状态下工艺气体因电场的作用，产生辉光放电，将工艺气体电离成离子流，炮击工件外表，使其产生物理化学反响，到达清洗意图。等离子清洗机按其等离子激起频率可分为：中频(40KHz)、射频(13.56MHz)和微波(2.45GHz)三种等离子清洗，随频率的升高，离子浓度增大，离子能量下降。

  图1-1是等离子清洗机的粒子能量和粒子密度随电场频率改动的联系，从图中能清楚地看出粒子密度与电源频率成正比联系，而粒子能量与之相反与电源放电频率成反比联系。当频率为13.56MHz时粒子能量与粒子密度相对平衡，由此可知世界通用射频电源频率的由来。

  不同频率的等离子体与资料的反响机理也不相同，表1.2列举了三种不同等离子体的各项要素目标与反响机理。

  a）激起频率为40kHz激起的等离子体为中频等离子体，其等离子体密度比较低；首要产生物理反响，40kHz的等离子领会改动被清洁外表性质，简略对产品外表形成电子损害，首要是应用在污染比较重并且不简略遭到电子损害的。

  b）激起频率为13.56MHz的等离子体为射频等离子体，其等离子体的密度，具有的能量较高；，既产生化学反响也产生物理反响，大多应用在半导体的出产的悉数进程，清洗作用介于其他两种频率激起的等离子体之间。

  ）激起频率为2.45GHz的等离子体为微波等离子体，微波等离子体具有高密度、高电离度、大体积、均匀、无电极污染、运转气压低、设备简略、参数易于控制等长处，其等离子体的离子浓度是三种中最高，首要产生化学反响，能够用在一些灵敏元器件的清洗。

  总的来说，不同频率的等离子清洗机在整理洗刷作用和适宜运用的范围上各具特色。在挑选时，应该要根据详细的清洗需求和资料类型来确认适宜的频率。一起，还必须要分外留意调整其他参数如功率和氧气流量等，以优化整理洗刷作用。